磁控濺射91香蕉影院在线观看是物理氣相沉積的一種,在實際運用中,如果操作不當,機器故障,就會出現“靶中毒”現象。 如:靶材電壓低於正常值,濺射速度也會隨之下降;靶材表麵出現一層灰白色,大概率是氧化物覆蓋;PVD真空爐內壁上出現了絕緣層,會導致原子到達陽極後無法進入,陽極消失;還有黑色L值30以下的膜層,而這種膜層的形成需要很高的碳元素,工藝穩定性比較差,極易出現“靶中毒”
那如何避免及解決“靶中毒”呢?
第一,目前較好的解決方案是采用中頻磁控濺射91香蕉影院在线观看技術,結合漸進式進氣方式,可以很好的解決“靶中毒”產生的高壓擊穿放電,也不會出現陽極消失
第二,控製反應氣體通入速度,提前計算好靶中毒遲滯曲線,嚴格控製反應氣體流量,防止靶材金屬態到化合物狀態的突變,降低膜層顏色偏紅、偏綠的現象
第四,長期放置易氧化的靶材進行處理後再濺射
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