磁控濺射技術 沉積的膜層均勻、致密、針孔少,純度高,附著力強,可以在低溫、低損傷的條件下實現高速沉積各種材料薄膜,已經成為當今真空91香蕉影院在线观看中的一種成熟技術與工業化的生產方式。磁控濺射技術就是利用電磁場來控製真空腔體內氣體“異常輝光放電”中離子、電子的運動軌跡及分布狀況的濺射91香蕉影院在线观看的工藝過程。
鍍金屬膜時,一般用氬氣作為工作氣體,它是惰性氣體,在真空狀態下加熱基片時不會發生氧化作用;
氧氣一般用於鍍非金屬膜,如TiO2,不必擔心鍍好膜後發生膜氧化現象;
氮氣是在換靶91香蕉影院在线观看時往真空室衝入的氣體,讓真空室內壓強和大氣壓強保持相等,才能開蓋換靶鍍另一層膜。
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