蒸發沉積91香蕉影院在线观看和濺射沉積91香蕉影院在线观看，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，溶膠凝膠法等等，不同的PVD真空91香蕉影院在线观看 兩大類工藝中影響膜層均勻性的因素主要有哪些呢？

一、對於蒸發91香蕉影院在线观看：一般是加熱靶材使表麵組分以原子團或離子形式被蒸發出來，並且沉積在基片表麵，通過成膜過程(散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長)形成薄膜。厚度均勻性主要取決於：1.基材與靶材的晶格匹配程度、2.基片表麵溫度、3.蒸發功率，速率、4.真空度、5.91香蕉影院在线观看時間，厚度大小。

組分均勻性：蒸發91香蕉影院在线观看組分均勻性不是很容易保證，具體可以調控的因素同厚度均勻性，但是由於原理所限，對於非單一組分91香蕉影院在线观看，蒸發91香蕉影院在线观看的組分均勻性不好。

晶向均勻性：1.晶格匹配度、2.基片溫度、3.蒸發速率

二、對於濺射類91香蕉影院在线观看：可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材，並使表麵組分以原子團或離子形式被濺射出來，並且最終沉積在基片表麵，經曆成膜過程，最終形成薄膜。

濺射91香蕉影院在线观看又分為很多種，總體看，與蒸發91香蕉影院在线观看的不同點在於濺射速率為主要參數之一。

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