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來源: | 發布日期:2022-07-07

真空濺射91香蕉影院在线观看 是通過離子碰撞而獲得薄膜的一種工藝,主要分為兩類:陰極濺鍍和射頻濺鍍。陰極濺鍍一般用於濺鍍導體如鋁,銀或半導體如矽。射頻濺鍍一般用於濺鍍非導體如ZnS一SiO2RW格式用鍍層)。

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濺鍍的原理,主要利用輝光放電將氬氣離子撞擊靶材表麵;靶材的原子被彈出而堆積在基板表麵形成薄膜。同時用強力磁鐵將電子呈螺旋狀運動,加速靶材周圍的氬氣離子化,使得氬氣離子對陰極靶材的撞擊機率增加,形成雪崩式的狀態,以此提高濺鍍速率。濺鍍薄膜的性質、均勻度都比蒸鍍薄膜好。

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